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        專(zhuān)注于潔凈棚、潔凈采樣車(chē)、稱(chēng)量室

        的設(shè)計(jì)、施工與安裝

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        潔凈棚

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               如何控制潔凈棚室內(nèi)的溫濕度
               潔凈棚具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此其簡(jiǎn)便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn),潔凈棚同時(shí)可針對(duì)在一般等級(jí)的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。潔凈棚是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。潔凈棚主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過(guò)濾器、阻尼層、燈具等組成,外殼噴塑。該產(chǎn)品既可懸掛,又可地面支撐,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便。可以單個(gè)使用,也可多個(gè)連接組成帶狀潔凈區(qū)域。 潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
               濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多,相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。    
               具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)椴僮魅藛T出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。 


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